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ATV真空回流爐介紹理論

日期:2025-07-30 12:13
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摘要:
 ATV真空回流爐的組成
  ATV真空回流爐包括以下幾個結構:氣路系統、冷卻系統、加熱系統,真空系統、測量系統和**系統:
氣路系統
  N2有三路:一路通到工藝腔體;一路作為氣冷通入冷卻管(和水冷一個管道);一路通到真空泵gas ballast,作為提高真空泵壓縮比的功能。 H2有一路,通到腔體內。H2/N2一路,通道腔體內。
冷卻系統
  分為內循環和外循環 內循環:設備內部有個水箱,內裝有DI water,通過水泵將水箱里面水進行循環,用來冷卻加熱板、法蘭、plasma。外循環:客戶提供外部冷卻水用來冷卻水箱。
加熱系統
  ATV真空回流爐包括主加熱和邊緣加熱。
  主加熱也就是整個加熱板。占加熱的95%。
  邊緣加熱是在熱板的四周追加邊緣加熱絲,為了更好的提高熱板的均勻性,增大工藝有效面積。


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